BALLUFF傳感器是工業(yè)實(shí)踐中常用的一種傳感器，廣泛用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及水利水電、鐵路交通、生產(chǎn)自控、航空航天、石化、油井、電力、船舶、管道等眾多行業(yè)。一般是指將變化的壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換成對(duì)應(yīng)變化的電阻信號(hào)或電容信號(hào)的敏感元件，如壓阻元件、壓容元件等。
BALLUFF傳感器是目前應(yīng)用廣泛的一種產(chǎn)品。傳統(tǒng)的傳感器以機(jī)械結(jié)構(gòu)型的器件為主，利用壓電效應(yīng)把彈性體的形變轉(zhuǎn)換成對(duì)應(yīng)壓力的大小。隨著半導(dǎo)體技術(shù)和MEMS技術(shù)的發(fā)展，其性能得到大幅提高，不僅體積小、質(zhì)量輕、功耗小，而且精度、穩(wěn)定性、可靠性更高，這也大大擴(kuò)展了它的應(yīng)用市場(chǎng)。它主要是為了解決高溫環(huán)境下各種氣體、液體壓力的測(cè)量，廣泛用于鍋爐、管道、高溫反應(yīng)容器內(nèi)的壓力、井下壓力和各種發(fā)動(dòng)機(jī)腔體內(nèi)的壓力、高溫油品液位與檢測(cè)、油井測(cè)壓等領(lǐng)域壓力的測(cè)量。這些領(lǐng)域中傳感器都處于高溫環(huán)境條件下工作，使得傳感器的放大電路工作很容易失效，這也是高溫壓力傳感器設(shè)計(jì)的難點(diǎn)。理想的解決辦法就是將傳感器件與放大電路相分離，其中傳感器件由MEMS工藝來(lái)實(shí)現(xiàn)，信號(hào)激勵(lì)與信號(hào)處理由計(jì)算機(jī)來(lái)完成。
現(xiàn)在研究比較多的傳感器主要有SOS、SOI、SiO2、Poly2Si等半導(dǎo)體傳感器，還有濺射合金薄膜高溫壓力傳感器、高溫光纖壓力傳感器和高溫電容式壓力傳感器等。與傳統(tǒng)的壓阻式壓力傳感器相比，半導(dǎo)體電容式壓力傳感器具有靈敏度高、溫度穩(wěn)定性好、功耗小等優(yōu)點(diǎn)，而且流量計(jì)只對(duì)壓力敏感，對(duì)應(yīng)力不敏感，所以，電容式壓力傳感器在許多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
